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W1光學3d表面輪廓儀器采用白光干涉技術,結合具有優異抗噪性能的3D重建算法,真實還原樣品的每一個細節,隨意翻轉縮放,都能輕松觀察、測量樣品的任意特征。中圖儀器提供1100單鏡頭手動版和1200多鏡頭自動版兩種機型,另可針對不同的客戶需求,在兩種型號間選取不同配置進行組合,讓儀器切合客戶需求,貼心省力。
參數
產品型號:SuperView W1系列
產品名稱:光學3D表面輪廓儀
影像系統:1024×1024
光學ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)
干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)
XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時具備,均為光柵閉環反饋
Z軸行程:100mm,電動
Z向掃描范圍:10mm
Z向分辨率:0.1nm
可測樣品反射率:0.05%-100%
水平調整:±5°手動
粗糙度RMS重復性:0.005nm
臺階高測量:準確度0.3%,重復性0.08% 1σ
主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快、效率高
生產企業:深圳市中圖儀器股份有限公司
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W1光學3d表面輪廓儀器粗糙度、平面度、孔洞分析等3D測量功能全部囊括,距離、角度、直徑測量等2D輪廓分析功能覆蓋,有依據ISO|ASME|EUR|GBT四大國內外標準的300余種特征參數。重建算法自動濾除樣品表面噪點,在硬件系統的配合下,分辨率可達0.1nm,廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。
薄膜粗糙度測量
磨損定量分析
塑料薄片微觀
應用
在3C領域,SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度;
在LED行業,SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石、碳化硅襯底表面粗糙度;
在光纖通信行業,SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量光纖端面缺陷和粗糙度;
在集成電路行業,SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;
在EMES行業,SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量臺階高度和表面粗糙度;
在軍事領域,SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石觀察窗口表面粗糙度......